| |
Ажажа, В. М.
Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники [Текст] / В. М. Ажажа, Г. П. Ковтун, И. М. Неклюдов
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 6. – 3-6.
Изложены некоторые результаты комплекса разработок, связанных с получением высокочистых полупроводников, металлов, тигельных материалов и технологических газов |
