| |
Глауберман, М. А.
Вплив структурних дефектів у приповерхневих шарах кремнію на рухливість носіїв заряду в каналі МОН-транзисторів та порогову напругу [Текст] / М. А. Глауберман, О. А. Кулініч, Н. М. Садова
// Український фізичний журнал. – 2002. – 47, № 8. – 779-783.
За допомогою сучасних методів дослідження визначено основні параметри вольт-амперних характеристик МОН-транзисторів та вплив на них структурних недосконалостей, домішкового складу і неоднорідностей легування |
