| |
Гетерування рекомбінаційно-активних домішок у мультикристалітному кремнії при швидких термічних обробках [Текст] / С. Г. Волков, А. А. Євтух, В. Г. Литовченко [et al.]
// Український фізичний журнал. – 2002. – 47, № 7. – 684-689.
З використанням методів мас-спектрометрії нейтральних частинок з пошаровим аналізом та спектроскопії поверхневої фотоерс досліджено процеси гетерування рекомбінаційно-активних домішок у мультикристалітному кремнії |
