| |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления [Текст] / С. А. Адарчин, А. С. Кужненков, Л. В. Кожитов, В. Г. Косушкин
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 2. – 55-57.
Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур |
