| |
Касимов, Ф. Д.
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах [Текст] / Ф. Д. Касимов, А. Э. Лютфалибекова
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 2. – 13-14.
Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки |
