| |
Голубок, А. О.
Микросканер с большим полем сканирования для зондового микроскопа [Текст] / А. О. Голубок, Е. Н. Родионова, И. Д. Сапожников
// Оптический журнал. – 2002. – 69, № 3. – 78-80.
Рассмотрена конструкция трехкоординатного устройства микроперемещения на основе биморфных пьезоэлементов в виде упругих мембран, закрепленных на ребрах металлического куба |
