| |
Бабкин, С. И.
Процессы и оборудование физического осаждения из газовой фазы в технологии интегральных микросхам [Текст] / С. И. Бабкин, В. Ю. Киреев
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 1. – 7-22.
В обзоре проанализированы тенденции развития технологии формирования проводящих пленок для многоуровневой металлизации интегральных микросхем |
