| |
Буйко, Л. Д.
Диагностика полупроводниковых структур при разработке и производстве изделий микроэлектроники [Текст] / Л. Д. Буйко, В. А. Пономарь, А. А. Солонинко
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 1. – 40-42.
Показана эффективность использования уникального аналитического оборудования на крупном предприятии по разработке и производству изделий микроэлектроники |
