| |
Дикарев, Ю. И.
Каталитическое травление кварца во фторсодержащей газоразрядной плазме [Текст] / Ю. И. Дикарев, С. М. Цветков, И. С. Суровцев
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 5. – 23-30.
Изучена кинетика процесса, предложена его физико-химическая модель. |
