| |
Смирнов, В. В.
Особенности гетероэпитаксии нитридов алюминия и галлия на сапфире [Текст] / В. В. Смирнов, Г. А. Найда, Н. В. Баровский
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 5. – 17-22.
Рассмотрены особенности ориентации гетероэпитаксиальных слоев нитридов алюминия и галлия при осаждении из газовой фазы на подложках сапфира. |
