Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук Відібрані Формуляр Опис документа
Сайт бібліотеки Сайт ВНТУ
          Светличный, А. М.
    Особенности получения тонких пленок SiO(2) методом быстрой термической обработки [Текст] / А. М. Светличный, О. А. Агеев, Д. А. Шляховой
    // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2001. – № 4-5. – 38-43.

  УДК 539.216.2.002-546.28


            



Теми документа
Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'