| |
Kuznetsov, V. І.
An Advanced RTF System Based on Conductive Heat Transfer [Текст] / V. І. Kuznetsov, A. B. Storm, E. H. Granneman
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 2. – 40-46.
Приведены концепция проектирования и тепловые характеристики новой системы для быстрой термической обработки полупроводниковой пластины: Levitor 4000. |
