Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
Русский
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Гришаков, В. В.
Модель образования дефектов оксида кремния в процессе изготовления планарных интегральных схем
[Текст] / В. В. Гришаков, К. А. Кулев, В. Д. Попов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 1. – 101-103.
Краткие сообщения.
УДК 621.382.2/3.62-192
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/П/планарные ИС
1
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'