| |
Королев, М. А.
Исследование влияния способов формирования локального окисла на параметры мощных МОП-транзисторов в "интеллектуальных" силовых интегральных схемах [Текст] / М. А. Королев, Р. Д. Тихонов, А. В. Швец
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 1. – 29-33.
Рассмотрены конструктивно-технологические варианты изготовления мощного МОП-транзистора, предназначенного для использования в "интеллектуальных" силовых интегральных схемах. |
