| |
Агеев, О. А.
Влияние конструкции реакционной камеры на облученность полупроводниковых пластин при быстрой термической обработке [Текст] / О. А. Агеев, А. М. Светличный, А. Н. Кочеров
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 1. – 23-28.
Приведены общие закономерности влияния геометрии реактора на облученность пластин при быстрой термической обработке. |
