| |
Экологические аспекты жидкостного и плазмохимического травления [Текст] / Г. Я. Красников, Н. В. Алексеев, В. В. Ячменев, С. А. Неустроев
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2001. – № 1. – 19-22.
Сопоставлены сложности обезвреживания токсичных веществ, используемых в операциях ЖХТ и ПХТ. |
