| |
Головяшкин, А. Н.
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме [Текст] / А. Н. Головяшкин, Д. В. Лежнев
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2001. – № 2. – 42-44.
Приведены технологические режимы получения тонких пленок, описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления |
