|
Боргардт, Н. И. Исследования полупроводниковых гетероструктур электронно-микроскопическими методами [Текст] / Н. И. Боргардт, С. К. Максимов // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 4-5. – 158-161.
Кратко описаны методики электронно-микроскопических исследований структуры границ и состава слоев полупроводниковых гетерокомпозиций. |