| |
Будагян, Б. Г.
Высокоскоростная низкотемпературная технология некристаллических полупроводников [Текст] / Б. Г. Будагян, А. А. Шерченков
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 4-5. – 75-79.
Показано, что с использованием данной технологии формирования пленки с варьируемой оптической шириной запрещенной зоны |
