Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Рыгалин, Б. Н.
    Гиттерирующие примеси в монокристаллах кремния для СБИС [Текст] / Б. Н. Рыгалин, Е. Б. Соколов, В. К. Прокофьева
    // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 4-5. – 71-74.

   Предложен механизм воздействия примесей-геттеров на свойства кремния.

  УДК 621.315.592


            




Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'