|
Смирнов, Н. Н. Основные закономерности метода получения пленок распылением мишеней ионным пучком [Текст] / Н. Н. Смирнов // Оптический журнал. – 2001. – № 4. – 60-62.
Представлены температурные и энергетические зависимости процесса получения оптических пленок |