| |
Муранова, Г. А.
Свойства пленок, полученных распылением мишеней ионным пучком [Текст] / Г. А. Муранова, Н. Н. Смирнов
// Оптический журнал. – 2001. – № 4. – 53-59.
Показано, что наносимые данным методом пленки имеют однородную мелкозернистую структуру и высокую адгезию к подложке |
