| |
Абрамов, Г. В.
Некоторые вопросы синтеза пневматических устройств межоперационного транспортирования с заданным законом движения легкоповреждаемых изделий [Текст] / Г. В. Абрамов, Л. И. Назина, Г. В. Попов
// Изв.ВУЗов.Машиностроение. – 2000. – № 5-6. – 88-94.
Приводятся результаты исследований по созданию устройств межоперационного транспортирования полупроводниковых пластин на этапе фотолитографии, обеспечивающих реализацию заданного закона движения пластин и имеющих невысокую дефектность. |
