|
Вольпян, О. Д. Анализ ошибок в определении толщины слоев, возникающих при фотометрическом контроле [Текст] / О. Д. Вольпян, П. П. Яковлев, Б. Б. Мешков // Оптический журнал. – 2001. – 68, № 3. – 74-75.
Приведены результаты моделирования работы фотометрического контроля |