| |
Кожеватов, И. Е.
Интерферометрические методы контроля поверхностей. Интерферометр белого света высоких порядков [Текст] / И. Е. Кожеватов, Е. Х. Куликова
// Приборы и техника эксперимента. – 2001. – № 1. – 104-107.
Описан интерферометр белого света высоких порядков для трехмерного бесконтактного экспресс-контроля высотных профилей оптических поверхностей |
