| |
Лунев, И. В.
Структура и свойства тонких пленок оксида алюминия, полученных методом магнетронного распыления [Текст] / И. В. Лунев, В. Г. Падалка
// Металлофизика и новейшие технологии. – 2000. – 22, № 2. – 36-41.
Приведены данные по морфологии поверхности и микротвердости пленок на основе Al2O3. |
