| |
Иващук, А. В.
Устрйство для очистки и легирования поверхности полупроводника [Текст] / А. В. Иващук, В. П. Кохан
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2000. – № 4. – 35-37.
Представлена конструкция устройства и описана технология обработки поверхности арсенида галлия низкоэнергетичными ионами аргона. |
