| |
Исследование особенностей процесса локального окисления пленок титана на основе сканирующей зондовой микроскопии [Текст] / С. А. Гаврилов, С. В. Лемешко, В. М. Рощин [и др.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 3. – 27-33.
Рассмотрены особенности процесса локального окисления сверхтонких аморфных пленок титана на основе сканирующей зондовой микроскопии. |
