| |
Сеченов, Д. А.
Распределение постоянного электрического поля в узких окнах, вскрытых в окисле, при термополевом легировании кремния [Текст] / Д. А. Сеченов, В. В. Петров, И. И. Черепахин
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 3. – 21-26.
Показано влияние размеров окон на распределение поля. |
