Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
Русский
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Таланін, І. Є.
Дослідження трансформації ростових мікродефектів у кремній після іонної імплантації
[Текст] / І. Є. Таланін, Д. І. Левінзон, В. І. Таланін
// Український фізичний журнал. – 2000. – № 8. – 963-966.
УДК 621.382.315
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/М/монокристал, монокристалл/монокристал кремнію, монокристалл кремния
Ключові слова/І/імплантація, имплантация/імплантація іонна, имплантация ионная
Ключові слова/Е/електроніка, электроника/електроніка напівпровідникова, электроника полупроводниковая
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'