| |
Флуктуации толщин слоев, возникающие при конденсации из молекулярного пучка [Текст] / И. С. Гайнутдинов, Е. А. Несмелов, А. Н. Борисов, Р. С. Сабиров
// Оптический журнал. – 2000. – 67, № 8. – 84-86.
Описан метод оценки флуктуаций толщины пленки, появляющихся за счет флуктуаций параметров процесса нанесения испарением материала в вакууме |
