| |
Иващенко, Е. И.
Исследование процесса электрохимического анизотропного травления кремния [Текст] / Е. И. Иващенко
// Электроника. – 2000. – № 1. – 59-64.
Исследован процесс анизотропного травления кремния ориентации (100) с электрохимической остановкой процесса с целью изготовления изделий микромеханики. |
