|
Погалов, А. И. Микроэлектронные пьезорезистивные акселерометры [Текст] / А. И. Погалов, О. В. Панкратов // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 2. – С. 95-102.
Разработаны акселерометры, освоенные в опытном производстве и характеризующиеся оптимальной конструкцией, механическими и метрологическими характеристиками. |