| |
Норох, А. А.
Оптические средства контроля и управления транспортной системой кристального производства микроэлектроники [Текст] / А. А. Норох, В. А. Андренюк
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 2. – 45-52.
Анализируются требования к транспортной системе кристального производства микроэлектроники. Предложена транспортная система с дискретным носителем с автономным питанием и оптическими средствами контроля и управления |
