| |
Разработка селективного травителя для самосовмещенного формирования систем металлизации на основе пленок сплава Ti-Co-N [Текст] / С. А. Гаврилов, Д. Г. Громов, О. В. Данилевич, А. И. Мочалов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 2. – 33-36.
Рассмотрен процесс взаимодействия между кремнием и тонкой пленкой сплава Ti-Co-N, нанесенной на кремниевую подложку, маскированную диэлектриком со вскрытыми в нем окнами. |
