| |
Неустроев, С. А.
О состояниях кислорода, окисляющего фоторезист ФП-383 в плазме [Текст] / С. А. Неустроев
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2000. – № 2. – 21-24.
Определена энергия активации на основе экспериментальных данных удаления фоторезиста ФП-383 в объемном реакторе |
