| |
Добровольский, Ю. Г.
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин [Текст] / Ю. Г. Добровольский
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 1999. – № 5-6. – 22-24.
Метод и оборудование для его реализации позволяют проводить контроль полупроводниковой пластины и отдельных ее участков |
