| |
V, V. K.
ZnO/SiC/Porous-Si/Si Heterostructure: Obtaining and Properties [Текст] / . V. Kidalov. V, P. K. V
// Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2022. – Т. 20, № 3. – С. 647-655.
У роботі продемонстровано синтезу плівок оксиду Цинку ZnO методом ВЧ-магнетронного розпорошення цинкової мішені на кремнійовій підкладинці з використанням буферних шарів SiC та поруватого Si. |
