|
Вплив потенціалу зміщення і тиску робочого газу на властивості іонно-плазмового багатошарового покриття TiSiN/NbN [Текст] / Д. В. Горох, О. В. Максакова, С. А. Клименко [та ін.] // Надтверді матеріали. – 2022. – №6. – С. 44-52.
Розглянуто фазовий склад, розподіл елементів, механічні властивості багатошарових покриттів TiSiN/NbN(TiN), отриманих методом вакуумно-дугового осадження. Досліджено вплив потенціалу зміщення на механічні та трибологічні характеристики покриттів, а також досліджено міцність зчеплення покриттів з підкладкою. |