| |
Структура та механічні властивості наношаруватих плівок Ті–В/С [Текст] / В. І. Іващенко, О. О. Онопрієнко, П. Л. Скринський [та ін.]. – С. 35-43.
Наношаруваті Ti–B/C плівки було отримано методом магнетронного на постійному струмі осадження за послідовного розпилення мішеней ТіВ_2 та графіту. Плівки осаджували на кремнієві пластини з орієнтацією (100), до яких прикладали негативний потенціал зміщення 50 В і які були попередньо нагріті до 400 градусів Цельсія. |
