| С30 |
Семенець, В. В.
Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології [Електронний ресурс] : підручник / В. В. Семенець, І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін. – Електрон. текст. дані. – Харків : Компанія СМІТ, 2011.
Викладено принципи створення МЕМС та основні відомості про технології їх виробництва, що дозволяють на єдиній кремнієвій підкладці виготовити мікромеханічні вузли та деталі, а також електронні системи обробки інформації та систем керування. |
