| П12 |
Павлов, С. М.
Технологія мікроелектронних засобів [Електронний ресурс] : збірник завдань / С. М. Павлов, О. В. Войцеховська ; ВНТУ. – Електрон. текст. дані. – Вінниця : ВНТУ, 2017.
В збірнику розглянуто основні процеси технології мікроелектронних засобів, зокрема процеси механічної обробки та підготовки напівпровідникових пластин, а також такі методи отримання структур, як епітаксіальне нарощування,фотолітографія, дифузія та ін. |
