| П12 |
Павлов, С. М.
Технологія мікроелектронних засобів [Електронний ресурс] : навчальний посібник / С. М. Павлов, О. В. Войцеховська ; ВНТУ. – Електрон. текст. дані. – Вінниця : ВНТУ, 2017.
В навчальному посібнику розглянуто основні процеси технології мікроелектронних засобів. |
