В даній роботі побудована математична модель дифузійного перенесення в багатоскладових Fe/Tb магнітних наноплівках. Зокрема, обґрунтовано розв’язність відповідних задач та отримано їх аналітичний розв’язок, що в узагальненому вигляді описує вплив фізичних чинників внутрішньої кінетики переносу. Виконано числове моделювання дифузійного переносу та проведена перевірка на адекватність моделі за результатами натурних експериментів. Здійснено комп’ютерне моделювання та аналіз концентраційних залежностей дифундованих компонентів у шарах наноплівок як функцій від товщини для різних зрізів технологічних поверхонь у діапазоні зміни конструктивних і режимних параметрів.