| |
Влияние взаимодействия соотношений газов CH_4/H_2/Ar и расстояния горячая нить накала–подложка на рост нанокристаллического алмаза [Текст] / Д. Бяо, В. Цюпин, Й. Мингкун [и др.]
// Надтверді матеріали. – 2020. – № 3. – С. 39-50.
Изучено влияние взаимодействия газов CH_4/H_2/Ar в различных соотношениях и расстояния от ГНН до подложки на рост пленок НКА. |
