| |
Гібридні системи для електронно-променевого випаровування та іонного розпилення [Текст] / А. І. Кузьмичєв, А. І. Устінов, О. Е. Руденко, І. М. Дрозд
// Сучасна електрометалургія. – 2019. – № 4. – С. 18-25.
Розглянуто гібридні системи для електронно-променевого випаровування з іонним асистуванням процесу конденсації випарюваної речовини у вигляді покриття. Представлена система, в якій іони аргону генерувалися за допомогою магнетронного розряду, створюваного навколо підкладки у вигляді стрижня, що служить катодом цього розряду. |
