|
Вплив наноструктуризації кремнію на електричні та фотоелектричні властивості діод Шотткі NI/n-SI [Текст] / М. М. Солован, А. І. Мостовий, В. В. Брус, П. Д. Мар'янчук // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2019. – Т. 17, № 3. – С. 491-506.
В даній роботі представлено результати досліджень фізичних властивостей планарних і наноструктурованих діод Шотткі NI/n-SI, виготовлених шляхом нанесення тонких плівок NI на планарні та наноструктуровані підкладинки кремнію методою магнетронного розпорошення при постійній напрузі. |