| |
Кідалов, В. В.
Властивості плівок ZnО, одержаних на мезопоруватих підкладнах Si методою магнетронного напорошення [Текст] / В. В. Кідалов, А. Ф. Деденчук, Ю.Ю. та ін. Бачеріков
// Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2019. – Т. 17, № 1. – С. 111-122.
У роботі методою реактивного магнетронного ВЧ-розпорошення одержано плівки ZnO на підкладинках кремнію орієнтації (100) з попередньо нанесеною системою мезопор. |
