| |
Вербицький, В.
Аналіз гетерогенних термохімічних та термофізичних процесів іонного напорошення двокомпонентних плівок (англ. мовою) [Текст] / В. Вербицький
// Вісник Київського національного університету ім. Т. Шевченка. Серія: Радіофізика та електроніка. – 2017. – № 1 (25). – С. 9-12.
Розглянено одну з проблем сучасної технології інтегральних електронних схем - створення високоякісних міжелементних з'єднань на кристалі. |
