| |
Оптимизация системы охлаждения молибденовой подложки установки газоплазменного напыления [Текст] / С. А. Мартынов, В. П. Лукьянова, А. А. Лучанинов, М. А. Хажмурадов
// Радиоэлектроника и информатика. – 2018. – № 3. – С. 5-7.
Рассматриваются условия реализации стационарного теплового режима подложки путем задания параметров системы охлаждения в установке газоплазменного напыления алмазного покрытия. |
